1、温度稳定性好：

电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，这有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微，而电阻传感器有铜损，易发热产生零漂；

2、结构简单：

电容式传感器结构简单，易于制造和保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量，能工作在高温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力、高冲击、过载等，能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量；

3、动态响应好：

电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小(约几个10^(-5)N)，需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫兹的频率下工作，特别适用于动态测量，又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高，它可用于测量高速变化的参数；

4、可以非接触测量且灵敏度高：

可非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等，当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响；